1,將真空泵,Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀,要檢測的對象,用波紋管和卡箍連接完畢.
2,Pfeiffer檢漏儀上的閥門處于導(dǎo)通的狀態(tài).
3, Pfeiffer質(zhì)譜檢漏儀通電,3分鐘后完成自檢,進入”READY TO START”
4,先啟動真空泵,再按氦質(zhì)譜檢漏儀上的”START/STOP”按鈕,啟動Pfeiffer檢漏儀進入檢漏工作狀態(tài).
5,在懷疑有漏的地方噴氦氣,觀察Pfeiffer檢漏儀上的漏率顯示曲線.
6,所有懷疑有漏的地方都噴過氦氣后,檢漏完成,下面完成關(guān)機.
7,關(guān)閉所有的手動閥門.
8, 按”START/STOP”按鈕,使Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀停止檢漏工作狀態(tài).
9,關(guān)閉Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀的電源,等待10分鐘以上,使Pfeiffer檢漏儀完全停止后,才可以移動搬運Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀.
10,拆除所有波紋管和卡箍,將現(xiàn)場恢復(fù)原狀.
大概順序示意圖如下:
